[发明专利]基板保持装置

摘要

本发明提供一种基板保持装置，其能够在200～500℃的温度范围内高速且高精度地控制基板温度。基板保持装置(1)在保持装置主体(1A)的基板保持侧具有静电吸盘(3)，用于对基板(10)进行静电吸附，其中，该基板保持装置(1)包括：内置在静电吸盘(3)中、用于加热基板(10)的加热部件(4)；形成在保持装置主体(1A)的内部、与用于循环供给循环介质(101)的循环介质供给部件(2)相连接的循环介质流通路径(100)；将传热气体封闭在保持装置主体(1A)与静电吸盘(3)的间隙中地形成、并与能够调整封闭压力的传热气体供给系统(110)相连接的热传递能可变部件(6)；将传热气体封闭在静电吸盘(3)与基板(10)的间隙中地形成、并与传热气体供给系统(120)相连接的气体封闭部件(8)。

主权项

1.一种基板保持装置，其在保持装置主体的基板保持侧具有静电吸盘，用于对基板进行静电吸附，其特征在于，该基板保持装置包括：加热部件，其内置在上述静电吸盘中，用于加热基板；循环介质流通路径，其形成在上述保持装置主体的内部，与用于循环供给循环介质的循环介质供给部件相连接；热传递能可变部件，其将传热气体封闭在上述保持装置主体与上述静电吸盘的间隙中而形成，并与能够调整封闭压力的传热气体供给系统相连接；气体封闭部件，其将传热气体封闭在上述静电吸盘与上述基板之间的间隙中而形成，并与传热气体供给系统相连接。