[发明专利]含硼靶材及其制作方法、薄膜、磁记录媒体无效
申请号: | 200910150476.2 | 申请日: | 2009-06-23 |
公开(公告)号: | CN101928851A | 公开(公告)日: | 2010-12-29 |
发明(设计)人: | 吴明伟;廖浩嘉 | 申请(专利权)人: | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C22C1/05 | 分类号: | C22C1/05;C23C14/14;C23C14/34;G11B5/851 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及含硼靶材及其制作方法、薄膜、磁记录媒体。本发明为一种含硼靶材的制作方法,其包括提供钴铬(Co-Cr)预合金粉;混合钴铬预合金粉以及原料粉末后,将其预成型以形成初胚,其中所述原料粉末包含硼(B)粉和氧化物粉;以及烧结所述初胚以获得所述含硼靶材。通过使用钴铬预合金粉作为原料,再与硼、氧化物等原料混合,由此所制成的靶材的硼化物的尺寸及分布会被有效控制,并使靶材中的钴、铬、硼等元素的分布均匀性大幅提升。 | ||
搜索关键词: | 含硼靶材 及其 制作方法 薄膜 记录 媒体 | ||
【主权项】:
一种含硼靶材的制作方法,其包括:提供钴铬(Co Cr)预合金粉;混合钴铬预合金粉以及原料粉末后,将其预成型以形成初胚,其中所述原料粉末包含硼粉和氧化物粉;烧结所述初胚以获得该含硼靶材。
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