[发明专利]钛靶材的加工方法有效
| 申请号： | 200910151153.5 | 申请日： | 2009-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101613851A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钛靶材的加工方法，包括：通过三次精度渐增的机械加工对钛工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定钛工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对钛工件进行应力释放。通过所述钛靶材的加工方法获得的钛靶材具有较好的表面纹路一致性，以及较低的表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 钛靶材 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钛靶材的加工方法，其特征在于，包括：通过三次精度渐增的机械加工对钛工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定钛工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对钛工件进行应力释放。
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