[发明专利]激光加工装置和激光加工方法有效
| 申请号： | 200910151293.2 | 申请日： | 2009-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101712100A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 泷口优;松本直也;福智升央;井上卓;竹森民树;向坂直久 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;G03H1/08 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其特征在于：是通过对加工对象物照射激光从而用包含2个以上的基本加工图案的整体加工图案总括地对加工对象物进行加工的激光加工装置；该激光加工装置具备：输出激光的激光光源，相位调制型的空间光调制器，输入从所述激光光源输出的激光，并显示分别在被二维排列的多个像素上调制所述激光的相位的整体全息图，从而输出其相位调制后的激光，成像光学系统，输入从所述空间光调制器输出的激光，并将该激光在所述加工对象物上成像，存储部，将分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图进行存储，并且将相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图进行存储，以及控制部，将选自由所述存储部所存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图并列配置，并将所述聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于所述空间光调制器中。
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