[发明专利]角速度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 200910151588.X | 申请日： | 2009-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101620236A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 本多顺一;稻熊辉往;柴山哲也 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G01P9/04 | 分类号： | G01P9/04;H01L41/113;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了角速度传感器及其制造方法。该角速度传感器包括第一层、压电层和第二层。第一层具有第一主面和第二主面，并包括振动部和支持振动部的基底部。压电层形成在第一层的第一主面上。第二层在与第一层的第二主面侧上整体接合至基底部。通过本发明，可以提供灵敏度特性优异并实现生产力提高的角速度传感器及其制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器，包括：第一层，具有第一主面和第二主面，所述第一层包括振动部和支持所述振动部的基底部；压电层，形成在所述第一层的所述第一主面上；以及第二层，在所述第一层的所述第二主面的一侧整体结合至所述基底部。
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