[发明专利]一种镉锌氧合金薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200910153430.6 | 申请日： | 2009-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101665917A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 陈培良;张瑞捷;马向阳;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镉锌氧合金薄膜，利用磁控溅射法于特定的温度区间内在衬底上制备不同组分的镉锌氧薄膜，得到的不同组分的镉锌氧薄膜的发光波长在整个可见光范围内可调，为c轴取向性生长的单一六方相薄膜。本发明还公开了这种镉锌氧合金薄膜的制备方法。本发明使用设备低廉，是半导体工业中常用薄膜制备设备，制备工艺简单成熟，重复性好，得到的镉锌氧合金薄膜质量优异；通过调节镉锌氧合金薄膜中镉和锌的相对含量，使得薄膜的发光波长可以在整个可见光范围内调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镉锌氧 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种镉锌氧合金薄膜的制备方法，其特征在于，利用磁控溅射法在衬底上制备镉锌氧薄膜，具体包括以下步骤：1)利用球磨后陶瓷压制方法制备镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材；2)采用步骤1)制备的镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材，利用磁控溅射法在衬底上制备镉锌氧薄膜。
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