[发明专利]一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程

摘要

本发明公开了一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程，属于对掩膜版进行倒边和磨边加工领域，掩膜版倒边磨边机包括放置掩膜版并对其进行调整定位的掩膜版支撑平台装置；在倒边磨边传动装置的带动下分别对掩膜版进行倒边和磨边加工的倒边装置和磨边装置；以及，电控系统，控制倒边磨边传动装置的倒边和磨边动力传动系统、倒边装置的倒边磨头旋转电机，以及磨边装置的磨边磨头旋转电机协调动作。在掩膜版倒边磨边机进行加工过程中，电控系统控制倒边装置和磨边装置对掩膜版的一边依次进行倒边加工和磨边加工。本发明所述掩膜版倒边磨边机可以自动完成对掩膜版的加工处理，提供了加工效率，减小了人为因素对加工质量的影响。

主权项

1.一种掩膜版倒边磨边机，其特征在于：包括掩膜版支撑平台装置，包括掩膜版支撑板，和对放置在所述掩膜版支撑板上的掩膜版进行调整定位的定位调整组件；倒边装置，包括在其移动过程中同时磨削掩膜版的某一边上的上下两个棱边的倒边磨头，所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转；磨边装置，包括在其移动过程中磨削掩膜版的某一边的边平面的倒边磨头，所述磨边磨头在磨边磨头旋转电机的带动下旋转；倒边磨边传动装置，包括倒边装置滑座和磨边装置滑座，二者均与一导轨滑动配合连接，所述倒边装置和磨边装置分别安装在倒边装置滑座和磨边装置滑座上；倒边动力传动系统和磨边动力传动系统，分别带动所述倒边装置滑座和磨边装置滑座沿着所述导轨左右移动，使所述倒边装置和磨边装置在移动过程中分别对放置在所述掩膜版支撑平台装置上的掩膜版进行倒边加工和磨边加工；以及，电控系统，控制所述倒边和磨边动力传动系统、倒边磨头旋转电机，以及磨边磨头旋转电机协调动作。