[发明专利]具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台

摘要

本发明提供一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台。清洗蚀刻机台的转盘保持在固定水平上，而泄液槽(drain tank)则可以上下移动，以分别将自旋转转盘上晶圆表面因离心力飞散的液体收集排出。其由一组转盘、一组泄液槽及使泄液槽之一移至转盘水平上的升降装置构成。转盘是供吸住晶圆以进行清洗蚀刻及清洗之用，转盘能以各种速度旋转并供应蚀刻液及纯水。多个泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而决定其数，以排出废液。另由排气装置将酸性气体排出。

主权项

一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台，使转盘保持在固定水平上，而泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而升降至转盘处以排出酸液及酸性气体，至少包含：一组转盘，保持在固定水平上，有一个圆形表面以固定一片晶圆，转盘可旋转以蚀刻或清洗该晶圆；一个泄液槽，位于靠近转盘外的同心圆上，该泄液槽至少有两组圆形液槽，视蚀刻液的种类或纯水而将适当的一组圆形液槽升降至转盘处对准，以将该转盘排出的酸液分别排放，每一组圆形液槽有一组圆形抽气口连接至一个固定风箱的抽风口以将酸性气体排出；一组固定风箱，具有数个抽风口，一个主抽风排气管，一个次抽风排气管；一个使该泄液槽升降至该转盘处的升降装置，使其中该圆形液槽的一组与该转盘在同一水平上，以承接该转盘排出的酸液。