[发明专利]玻璃纹理化无效
申请号: | 200910160796.6 | 申请日: | 2004-03-19 |
公开(公告)号: | CN101624266A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | A·G·阿伯利;P·I·维登伯格;N·川素瓦尼茨 | 申请(专利权)人: | 新南创新私人有限公司 |
主分类号: | C03C21/00 | 分类号: | C03C21/00;C03C15/00;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 张宜红 |
地址: | 澳大利亚新*** | 国省代码: | 澳大利亚;AU |
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摘要: | 本发明揭示了一种对玻璃表面进行纹理化的方法,该方法包括以下步骤:用材料膜包覆玻璃表面,在玻璃和材料膜之间的界面上激发反应,导致在界面上生成反应产物,以及将材料膜和反应产物从玻璃表面除去。在一个优选的实施方式中,通过加热激发在玻璃上涂布了一层约500纳米厚硅酸铝铝膜。铝和硅在500-630℃温度下反应形成反应产物,然后通过磷酸蚀刻除去反应产物与膜。还使用HF/HNO3进行进一步蚀刻。该方法特别适用于蚀刻用作光电设备的玻璃基材。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 纹理 | ||
【主权项】:
1.一种对玻璃表面进行纹理化的方法,所述方法包括以下步骤:用铝膜包覆玻璃表面,在玻璃和铝膜之间的界面处通过加温退火工序激发反应,导致在界面处形成反应产物,以及通过化学蚀刻从玻璃表面除去铝膜和反应产物。
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