[发明专利]用于期望光谱中的光仿真的方法和装置无效
| 申请号： | 200910160954.8 | 申请日： | 2009-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101988633A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李玉强;徐晓华 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V14/02;H05B35/00;G01M11/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种改进的方法和装置，其包括用作仿真光源且位于太阳仿真器工具内的混合灯阵列。在一种实施例中，用于仿真期望光谱的光源包括在第一平面内配置的第一多个第一类型的灯和在第二平面内配置的第二多个第二类型的灯，其中第二平面基本平行于第一平面，且第一和第二平面之间的距离是可调整的以仿真期望光谱。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 期望 光谱 中的 仿真 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于仿真期望光谱的光源，包括：在第一平面中配置的第一多个第一类型的灯；和在第二平面中配置的第一多个第二类型的灯，其中所述第二平面基本上平行于所述第一平面，且所述第一平面和所述第二平面之间的距离可被调整以仿真期望光谱。
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