[发明专利]氢氧化四甲基铵的回收设备及其方法有效
| 申请号： | 200910162084.8 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101993380A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 陈国益;曹逸昌;陈镜廉 | 申请（专利权）人： | 兆联实业股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C211/63 | 分类号： | C07C211/63;C07C209/86 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人： | 葛强;张一军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种氢氧化四甲基铵(TMAH)的回收设备，其依序包括有一废液槽、一钠滤系统、一金属离子回收树脂塔、一氢氧化四甲基铵(Merry-Go-Round，MGR system)树脂塔、一回收处理水收集槽、至少一硫酸氢氧化四甲基铵[(TMA)2SO4]收液槽、一消除硫酸根(SO42-)或氯离子(Cl-)的离子消除树脂塔以及一TMAH回收槽，废水中的光阻剂通过钠滤方式去除，而金属离子能通过离子交换树脂而移除，并以TMAH回收槽回收纯化的TMAH溶液，以将其中的TMAH回收再利用，以减低其对于环境造成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氧化 甲基 回收 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种氢氧化四甲基铵的回收设备，其特征在于，包括：一废液槽，其包括含有氢氧化四甲基铵、光阻剂以及金属离子的废液；一钠滤系统，其与该废液槽相连通，该钠滤系统具有至少一钠滤装置和一帮浦，该钠滤装置与该废液槽连通，且该帮浦设置在钠滤装置和废液槽之间；一金属离子回收树脂塔，其连通于该钠滤系统；一氢氧化四甲基铵树脂塔，其系连通于该金属离子回收树脂塔，且包括至少一氢氧化四甲基铵吸着树脂塔；一回收处理水收集槽，其以管线连接至该钠滤系统以及该氢氧化四甲基铵吸着树脂塔；至少一硫酸氢氧化四甲基铵收液槽，其连通于该氢氧化四甲基铵吸着树脂塔，以收集硫酸氢氧化四甲基铵；一离子消除树脂塔，其连通于该硫酸氢氧化四甲基铵收液槽，其消除硫酸根SO42‑或氯离子Cl‑；一氢氧化四甲基铵回收槽，其连通于该离子消除树脂塔，以收集纯化的氢氧化四甲基铵溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兆联实业股份有限公司，未经兆联实业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910162084.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
