[发明专利]激光加工装置和激光加工方法

摘要

本发明提供一种激光加工装置和激光加工方法，能够与工件厚度无关地对激光束的聚光点位置进行实时修正，既使对于激光束照射区域的表面位移不恒定的工件，也能高精度地实施加工，无需预先对工件的表面位移进行测量。上述激光加工装置根据利用表面位移检测构件检测出的工件(10)的表面位移，利用聚光点位置调整构件对设于加工构件的聚光透镜(33)的位置进行调整，并从加工构件对保持于保持构件的工件照射加工用激光束，在上述激光加工装置中，设于表面位移检测构件的检测用光源(41)能振荡出与激光束不同的多种波长的光，在波长选择部(45)，从这多种波长中选择用作检测用光的一种波长，用聚光透镜使该选定的波长的检测用光会聚然后向工件照射。

主权项

1.一种激光加工装置，其利用激光束对工件进行加工，其特征在于，上述激光加工装置具有：保持构件，其保持上述工件；加工构件，其用于向上述工件照射上述激光束，并且该加工构件至少包括：振荡出上述激光束的振荡器、和使上述激光束朝向上述工件会聚的聚光透镜；表面位移检测构件，其对上述工件的表面位移进行检测；以及聚光点位置调整构件，其根据上述表面位移检测构件的检测结果来对上述聚光透镜的位置进行调整，上述表面位移检测构件包括：检测用光源，其能够振荡出与上述激光束不同的多种波长的光；波长选择部，其从上述多种波长中选择用作检测用光的一种波长；检测用光照射部，其将通过上述波长选择部选定、并从上述检测用光源射出的检测用光引导向上述聚光透镜；以及检测部，其对由于上述检测用光的照射而产生的来自上述工件的反射光进行检测。