[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置无效
| 申请号： | 200910164659.X | 申请日： | 2004-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101644641A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·穆尔 | 申请（专利权）人： | 全域探测器公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/36;G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王琼先;王永建 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置，用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 显微镜 进行 快速 样品 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种制备用于在TEM中进行检查的样品的方法，所述方法包括：将样品连接到探针末梢的针尖上；将探针针尖接合到TEM样品架样坯上；由探针针尖和TEM样品架样坯形成一个TEM样品架。
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