[发明专利]二酰亚胺类化合物及包含该化合物的化学增幅抗蚀剂组合物

摘要

一种由结构式(I)表示的二酰亚胺类化合物，其中，R¹代表C1-C20脂肪烃基等；W¹代表-CO-O-等，Q¹和Q²各自独立地代表氟原子等；并且A代表由结构式(I-1)表示的基团，其中，A¹代表-CH₂-CH₂-等，本发明还公开了含有该化合物的化学增幅抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种由结构式(I)表示的二酰亚胺类化合物：其中，R¹代表C1-C20脂肪烃基、C5-C10芳基或C6-C20芳烷基，并且所述C1-C20脂肪烃基、所述C5-C10芳基和所述C6-C20芳烷基可以具有一个以上取代基和一个以上杂原子；W¹代表-CO-O-、-O-CO-、-CH₂O-、-O-CH₂-、-CH₂O-CO-或-CO-OCH₂-；Q¹和Q²各自独立地代表氢原子、氟原子、C1-C6烷基或C1-C6全氟代烷基；并且A代表由结构式(I-1)表示的基团：其中，A¹代表-CH₂-CH₂-、-CH₂-CH₂-CH₂-、-CH＝CH-或-CH＝CH-CH₂-，其中一个以上氢原子可以用C1-C6脂肪烃基、C3-C12脂环烃基或C6-C10芳烃基取代，并且相邻取代基可以彼此成键从而形成环，并且所述C1-C6脂肪烃基、所述C3-C12脂环烃基和所述C6-C10芳烃基可以具有一个以上取代基和一个以上杂原子。