[发明专利]石英玻璃的制造方法及石英玻璃的制造装置有效
| 申请号： | 200910165031.1 | 申请日： | 2009-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101633552A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 井上大;长尾贵章;小出弘行 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种石英玻璃的制造方法，是使用1个以上的燃烧器，在向该燃烧器供给氧和氢生成的氢氧火焰中导入硅化合物，堆积由于火焰水解反应生成的二氧化硅，形成多孔质母材，将该多孔质母材加热及烧结，形成透明玻璃的石英玻璃的制造方法，其特征为：对燃烧器供给以常温制造或者储藏的氢；使用以气体的热容测量作为测量原理的测量装置或控制装置控制该氢的流量；把用低温贮槽储藏的液体氢汽化作为备用氢提供给燃烧器，将氢转换成备用氢，转换时，即将被转换的氢流量乘以预先设定的校正系数，调整氢的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种石英玻璃的制造方法，是使用1个以上的燃烧器，在向该燃烧器供给氧和氢而生成的氢氧火焰中导入硅化合物，堆积由火焰水解反应生成的二氧化硅而形成多孔质母材，将该多孔质母材加热及烧结，形成透明玻璃的石英玻璃的制造方法，其特征为：向燃烧器供给在常温下制造或者储藏的氢；使用以气体的热容测量作为测量原理的测量装置或控制装置控制该氢的流量；把用低温贮槽储藏的液体氢汽化作为备用氢提供给燃烧器，将所述氢转换成备用氢，在实施所述转换时，即将被转换的氢流量乘以预先设定的校正系数，调整氢的流量。
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