[发明专利]FOUP开闭装置和探针装置

摘要

本发明提供一种FOUP开闭装置，其能够搬入FOUP，有效地活用FOUP盖体打开的区域的下方空间。设有载置台(13)，该载置台(13)具备移动机构(61)和旋转机构(40)，用于载置FOUP(100)，具有包括晶片(W)的交接口(11d)和开闭并保持FOUP(100)的盖体(91)的盖体开闭机构(42)的框体(11a)，通过在盖体开闭机构(42)上安装而卸下FOUP(100)的盖体(91)，使FOUP(100)的朝向向着交接口(11d)而旋转。由此，可以将FOUP(100)的盖体(91)保持在框体(11a)上，由于不需要将盖体(91)保持在装载口(11)的下方区域，所以可以有效地活用下方区域。

主权项

1.一种FOUP开闭机构，其对FOUP盖体进行开闭，其特征在于，包括：框体，其内部设有载置FOUP的载置台；FOUP搬入口，其为在该框体的正面的开口，被闸板开闭；交接口，其为在所述框体的侧面的开口，用于进行FOUP内的基板的交接；旋转机构，其使所述载置台绕铅垂轴旋转；盖体开闭机构，其设置在所述框体内的背面一侧，用于开闭并保持FOUP盖体；移动机构，其使所述FOUP和所述盖体开闭机构相对进退以相互接近和分离；和控制部，其输出控制信号，使得通过该移动机构使所述FOUP和所述盖体开闭机构相对移动，使该FOUP的盖体安装于盖体开闭机构，从FOUP卸下该盖体，然后使所述盖体开闭机构和所述FOUP相对分离，使载置台旋转以使FOUP的朝向向着所述交接口。