[发明专利]有机EL设备制造装置和其制造方法以及成膜装置和成膜方法

摘要

本发明提供一种材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高的有机EL设备制造装置和/或其制造方法或成膜装置和/或成膜方法。本发明的有机EL设备制造装置，其特征在于，在真空腔内内存有N(N为2以上)张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板，或在蒸镀第1所述基板的时段中，结束第2所述基板的所述定位，通过所述蒸镀时段和同一蒸发源，在蒸镀所述第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板。

主权项

1.一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩，其特征在于，具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N(N为2以上)张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板。