[发明专利]铜靶材的加工方法有效
| 申请号： | 200910165365.9 | 申请日： | 2009-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN101619430A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/08 | 分类号： | C22F1/08;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴靖靓;李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种铜靶材的加工方法，包括：对铜工件进行三次精度渐增的机械加工，其中，在第三次机械加工时采用喷雾冷却，在三次机械加工过程中用全周夹具固定铜工件，并且在第一次机械加工和第二次机械加工之间对铜工件进行应力释放。通过所述铜靶材的加工方法可以防止铜在机械加工过程中氧化，并使获得的铜靶材具有较好的表面纹路一致性，以及较低的表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 铜靶材 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铜靶材的加工方法，包括对铜工件进行机械加工，其特征在于，在对铜工件进行机械加工时采用喷雾冷却。
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