[发明专利]空气流量计无效
| 申请号： | 200910165771.5 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101713676A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 南谷林太郎;半泽惠二;保川彰夫 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69;G01F1/692 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种热式空气流量计，其要解决的问题是在用由有机材料形成的保护膜覆盖电绝缘膜的隔膜部的周缘部的构造中，隔膜上的电阻体配线存在横切隔膜周缘部的构造，在该测温电阻体等窄幅配线横切隔膜周缘部的部位，保护膜的厚度变薄，灰尘碰撞性能下降。为解决该问题，在与发热电阻体主体(4)连接的发热电阻体配线(4′)或者与测温电阻体主体(5a，5b)连接的测温电阻体配线(5a′，5b′)横切隔膜部(30)的周缘(30a)的部位，与发热电阻体配线(4′)或者测温电阻体配线(5a′，5b′)并列设置从电绝缘膜(3)突出形成的膜构成部(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 流量计 | ||
【主权项】：
一种热式空气流量计，其具有半导体基板、在半导体基板上形成的电绝缘膜以及在电绝缘膜上形成的发热电阻体及测温电阻体，通过除去与形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域对应的半导体基板部分而形成空洞，由此将形成有发热电阻体及测温电阻体的主体部的区域作为隔膜部，以包括隔膜部的周缘部的方式并在其外侧形成保护膜，在隔膜部的形成有发热电阻体主体部及测温电阻体主体部的区域未形成保护膜，所述热式空气流量计的特征在于，在与发热电阻体主体连接的发热电阻体配线或者与测温电阻体主体连接的测温电阻体配线横切隔膜部的周缘部的部位，与所述发热电阻体配线或者所述测温电阻体配线并列设置有从所述电绝缘膜凸出形成的膜构成部。
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