[发明专利]像素结构及其制造方法有效
申请号: | 200910166332.6 | 申请日: | 2009-08-24 |
公开(公告)号: | CN101995716A | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
发明(设计)人: | 刘梦骐 | 申请(专利权)人: | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/82 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 孙长龙 |
地址: | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种像素结构的制造方法。首先,提供一具有多个像素区域的基板。接着,于基板上形成共享电极,其环绕于各像素区域的周围。然后,于共享电极上形成储存电容电极。继之,形成第一保护层,覆盖储存电容电极与共享电极。再来,于各像素区域中形成扫描线以与栅极。接着,形成栅绝缘层以与栅绝缘层上的半导体层。再来,于各像素区域中形成数据线、源极与漏极。接着,于基板上形成第二保护层,并于漏极上方的第二保护层中形成接触窗开口。然后,于各像素区域中形成像素电极,而像素电极是藉由接触窗开口与漏极电性连接。 | ||
搜索关键词: | 像素 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种像素结构的制造方法,其特征在于,包括:(A)提供一基板,具有阵列排列的多个像素区域;(B)于该基板上形成一共享电极,环绕于各该像素区域的周围;(C)于该共享电极上形成一储存电容电极;(D)形成一第一保护层,覆盖该储存电容电极与该共享电极;(E)于各该像素区域中形成一扫描线以及一栅极;(F)形成一栅绝缘层,覆盖该扫描线及该栅极;(G)于该栅极上方的该栅绝缘层上形成一半导体层;(H)于各该像素区域中形成一数据线、一源极与一漏极,而该源极与该漏极形成于该半导体层的两侧;(I)于该基板上形成一第二保护层,覆盖该数据线、该源极与该漏极;(J)于该漏极上方的该第二保护层中形成一接触窗开口,而曝露出该漏极;以及(K)于各该像素区域中形成一像素电极,该像素电极是藉由该接触窗开口与该漏极电性连接。
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