[发明专利]中空柱状靶材及其组件无效
| 申请号： | 200910166813.7 | 申请日： | 2009-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101994088A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 吴忠翰;许伟勳;吴益昇 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种中空柱状靶材及其组件，该中空柱状靶材组件包括一背衬管与一靶材材料，其中该靶材材料为外管，该背衬管为内管，该内管是用以接合于该外管内，在外管与内管分离的状态下，内管的外径大于外管的内径，且该内管的外径和外管的内径的差值需等于靶材材料的降伏应变乘以外管的内径再乘以一系数N，N值介于1至10之间，借着材料以及参数的调整才能使得作为外管和内管得以紧密接合。 | ||
| 搜索关键词： | 中空 柱状 及其 组件 | ||
【主权项】：
一种中空柱状靶材组件，其特征在于，包括一背衬管与一靶材材料，其中该靶材材料为外管，该背衬管为内管，该内管是用以接合于该外管内，在外管与内管分离的状态下，内管的外径大于外管的内径，且该内管的外径和外管的内径的差值需等于靶材材料的降伏应变乘以外管的内径再乘以一系数N，N值介于1至10之间。
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