[发明专利]用于旋转传感器装置的制造方法和旋转传感器装置有效
| 申请号： | 200910168652.5 | 申请日： | 2009-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101666647A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81C5/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于旋转传感器装置(150)的制造方法，该旋转传感器装置具有支架(126，130，134，162，164)、振动质量(152)和至少一个弹簧(124)，振动质量(152)与支架(126，130，134，162，164)通过所述至少一个弹簧(124)连接，其中，所述至少一个弹簧(124)如此地设计，使得能够借助驱动装置将振动质量(152)置于相对于支架(126，130，134，162，164)绕振动轴线的振动运动中，该制造方法具有以下步骤：形成具有由半导体材料和/或金属制成的第一层和由半导体材料和/或金属制成的第二层的层序，其中，第一层(108)的面向第二层(112)的边界面至少部分地被一绝缘层所覆盖；由第一层结构化出所述至少一个弹簧(124)；和由第二层结构化出振动质量(152)的至少一个能够借助驱动装置(128，130)置于绕振动轴线的振动运动中的振动质量亚单元。此外本发明还涉及一种旋转传感器装置(150)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 传感器 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于旋转传感器装置(120，150)的制造方法，该旋转传感器装置具有支架(126，130，134，162，164)、振动质量(122，152)和至少一个弹簧(124)，振动质量(122，152)与支架(126，130，134，162，164)通过所述至少一个弹簧(124)连接，其中，所述至少一个弹簧(124)如此地设计，使得能够借助驱动装置将振动质量(122，152)置于相对于支架(126，130，134，162，164)绕振动轴线的振动运动中，该制造方法具有以下步骤：形成具有由半导体材料和/或金属制成的第一层(108)和由半导体材料和/或金属制成的第二层(112)的层序，其中，第一层(108)的面向第二层(112)的边界面至少部分地被一绝缘层(110)所覆盖(S1)；由第一层(108)结构化出所述至少一个弹簧(124)(S21)；和由第二层(112)结构化出振动质量(122，152)的至少一个能够借助驱动装置(128，130)置于绕振动轴线的振动运动中的振动质量亚单元(S22)。
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