[发明专利]一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的方法无效
| 申请号： | 200910169130.7 | 申请日： | 2009-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102020282A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 朱国平;潘和平;夏进京;刘兴国 | 申请（专利权）人： | 重庆大全新能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 404000 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的方法，包括：a)对四氯化硅进行提纯；b)对氢气进行净化；c)将四氯化硅和氢气进行混合；d)将四氯化硅和氢气的混合气体用蒸汽和氢化反应的尾气中的一种或两种进行预热；e)将预热后的四氯化硅和氢气的混合气体进行氢化反应；f)将氢化反应的尾气进行回收，分馏出三氯氢硅。本发明提供的方法在四氯化硅与氢气发生氢化反应前，利用蒸汽和氢化反应的尾气对四氯化硅和氢气的混合气体进行预热，进行氢化反应时耗费较少的电能就可以达到需要的温度，节省了能源，且氢化反应速度较快，反应时间较短，产能大，适合大规模多晶硅的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 氯化 生产 三氯氢硅 方法 | ||
【主权项】：
一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的方法，其特征在于，包括：a)对四氯化硅进行提纯；b)对氢气进行净化；c)将四氯化硅和氢气进行混合；d)将四氯化硅和氢气的混合气体用蒸汽和氢化反应的尾气中的一种或两种进行预热；e)将预热后的四氯化硅和氢气的混合气体进行氢化反应；f)将氢化反应的尾气进行回收，分馏出三氯氢硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆大全新能源有限公司，未经重庆大全新能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910169130.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
