[发明专利]活化气体注入装置、成膜装置和成膜方法

摘要

本发明提供一种活化气体注入装置、成膜装置和成膜方法。该活化气体注入装置被划分成气体活化室、气体导入室，包括：将这些空间互相连通的流路形成构件；用于将处理气体导入到气体导入室的气体导入件；在气体活化室内互相并列延伸地设置、施加用于使处理气体活化的电力的一对电极，为了将被活化的气体喷出到气体活化室内而沿着电极的长度方向设置的气体喷出口。

主权项

1.一种活化气体注入装置，其包括：流路形成构件，其由分隔壁划分成气体活化用流路和气体导入用流路；气体导入件，用于将处理气体导入到上述气体导入用流路中；一对电极，其沿着上述分隔壁互相平行地延伸设置在上述气体活化用流路内，施加有用于使处理气体活化的电力；连通孔，其沿着电极的长度方向设置在上述分隔壁上，用于将上述气体导入用流路内的处理气体供给到上述气体活化用流路中；以及气体喷出口，其为了喷出在上述气体活化用流路中被活化的气体而沿着上述电极的长度方向设置在上述气体活化用流路上。