[发明专利]偏光调变光学元件、光学照明装置、曝光装置及曝光方法无效
| 申请号： | 200910173715.6 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101685204A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 豊田光纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02B27/44;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种偏光调变光学元件，适用于基于来自光源的光束而对掩膜进行照明的光学照明装置中，所述偏光调变光学元件的特征在于：所述偏光调变光学元件含有：具有结晶光学轴的旋光性结晶；以及在所述结晶光学轴的方向中所测定厚度的可变厚度轮廓(profile)。 | ||
| 搜索关键词： | 偏光 光学 元件 照明 装置 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1、一种偏光调变光学元件，适用于基于来自光源的光束而对掩膜进行照明的光学照明装置中，所述偏光调变光学元件的特征在于：所述偏光调变光学元件含有：具有结晶光学轴的旋光性结晶；以及在所述结晶光学轴的方向中所测定厚度的可变厚度轮廓。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910173715.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
