[发明专利]角速度传感器元件、角速度传感器和电子设备无效
| 申请号： | 200910173782.8 | 申请日： | 2009-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101676729A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 稻熊辉往 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G01P9/04 | 分类号： | G01P9/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种角速度传感器元件、角速度传感器和电子设备，其中，该角速度传感器元件包括：主体，具有三个振动器部，包括以第一相位振动的振动器部和以与第一相位相反的第二相位振动的振动器部；第一检测压电层，检测以第一相位振动的振动器部的振动；第二检测压电层，检测以第一相位振动的振动器部的振动；以及驱动压电层，使以第二相位振动的振动器部振动，第一检测压电层形成在以第一相位振动的振动器部上，第二检测压电层形成在以第一相位振动的振动器部上并与第一检测压电层分离设置，驱动压电层形成在以第二相位振动的振动器部上并与第一检测压电层和第二检测压电层分离设置。通过本发明，能够提供具有稳定的灵敏度特性和较低PSRR的角速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 元件 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器元件，包括：主体，具有三个振动器部，包括以第一相位振动的振动器部和以与所述第一相位相反的第二相位振动的振动器部；第一检测压电层，检测以所述第一相位振动的所述振动器部的振动，所述第一检测压电层形成在以所述第一相位振动的所述振动器部上；第二检测压电层，检测以所述第一相位振动的所述振动器部的振动，所述第二检测压电层形成在以所述第一相位振动的所述振动器部上，并与所述第一检测压电层分离设置；以及驱动压电层，使以所述第二相位振动的所述振动器部振动，所述驱动压电层形成在以所述第二相位振动的所述振动器部上，并与所述第一检测压电层和所述第二检测压电层分离设置。
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