[发明专利]液状体喷出方法、配线衬底、滤色器及有机EL发光元件的制法

摘要

提供能够驱动控制喷头、使液滴高精度喷落的液状体的喷出方法、适用了该液状体的喷出方法的配线衬底的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL发光元件的制造方法。本发明的液状体的喷出方法包括：检查工序(步骤S1)，其驱动喷头，取得从多个喷嘴的每个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息；配置图形生成工序(步骤S2)，其相对于通过主扫描在衬底上配置液滴的第一配置图形，生成根据喷落位置信息在主扫描的方向上对飞行弯曲进行了修正的第二配置图形；喷出工序(步骤S3)，其根据第二配置图形，使产生了飞行弯曲的喷嘴改变喷出定时或喷出速度而进行喷出。

主权项

一种液状体的喷出方法，其使具有多个喷嘴的喷头和衬底对置配置，使所述喷头和所述衬底沿主扫描方向相对移动，与所述主扫描方向的喷出定时同步在所述衬底上作为液滴喷出含有功能性材料的液状体，所述液状体的喷出方法的特征在于，包括：第一配置位映像图案生成工序，第一配置位映像图案在由所述多个喷嘴的喷嘴列方向和与所述喷嘴列方向交叉的所述主扫描方向构成的平面上展开，在所述第一配置位映像图案生成工序中，以所述衬底的设计信息为基础，生成由用于在所述衬底上配置从所述喷头喷出的所述液滴的多个点构成的所述第一配置位映像图案；修正量算出工序，取得从所述多个喷嘴喷出的所述液滴的喷落位置，作为修正量算出所述喷落位置相对于基准位置在所述主扫描方向上的偏离；第二配置位映像图案生成工序，点是所述第一配置位映像图案的点，在所述第二配置位映像图案生成工序中，使喷出该点的所述喷嘴的所述修正量沿所述主扫描方向移动而生成第二配置位映像图案；喷出工序，基于所述第二配置位映像图案，与所述主扫描方向的所述喷出定时同步作为所述液滴喷出所述液状体。