[发明专利]制造半导体装置的方法无效
申请号: | 200910174743.X | 申请日: | 2009-09-17 |
公开(公告)号: | CN101685784A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 高松亘 | 申请(专利权)人: | 恩益禧电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/56;H01L21/302;H01L21/78 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 孙志湧;安 翔 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种制造半导体装置的方法。在制造半导体装置的方法中,在其主表面上具有第一电极的基板和在其第一主表面上具有第二电极的半导体芯片被布置成使得基板的主表面和半导体芯片的第一主表面彼此相对,并且第一电极和第二电极被连接成电连接基板和半导体芯片。通过研磨半导体芯片的与第一主表面相对的第二主表面,使半导体芯片减薄,所述半导体芯片与基板相连接。用树脂密封被减薄的半导体芯片的侧表面和第二主表面。 | ||
搜索关键词: | 制造 半导体 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造半导体装置的方法,包括:布置在其主表面上具有第一电极的基板和在其第一主表面上具有第二电极的半导体芯片,使得所述基板的主表面和所述半导体芯片的第一主表面彼此相对,并且连接所述第一电极和所述第二电极,以便电连接所述基板和所述半导体芯片;通过研磨所述半导体芯片的与所述第一主表面相对的第二主表面,使所述半导体芯片减薄,所述半导体芯片与所述基板相连接;以及用树脂密封被减薄的所述半导体芯片的侧表面和所述第二主表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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