[发明专利]同时相移的斐索干涉仪

摘要

一种同时相移的斐索干涉仪。利用斐索干涉仪的参考和测试镜(24，26)之间的倾斜关系以在空间上分离来自两个表面的反射(R，T)。分离的光束(R，T)通过为该光束提供不同的偏振状态的空间偏振元件(32)而得到过滤。该光束(R，T)随后被重新结合以形成大体共线的光束，该共线光束利用允许在单个视频帧中进行定量的相位测量的空间相位干涉仪(44)得到处理。可选地，具有正交偏振的两个光束(104，106)在不同的角度射入斐索腔(20)，使得它们在从参考和测试镜片(24，26)反射之后大体共线。不需要的反射通过使用圆孔(112)在焦平面上被阻断。短相干长度的光和延迟线(84)可以用于减轻散射、减少测量积分次数且进行暂时相位平均。

主权项

一种光学装置，用于表征与光学腔中的参考表面相对的测试表面，包括：光延迟线，它对输入光束起作用以产生以预定光路延迟暂时分开的两光束；用于以各自正交的偏振状态偏振所述两光束的装置；用于将所述两光束投射向所述光学腔以产生具有正交偏振状态的测试光束和参考光束的装置；用于产生该测试和参考光束的多个副本的装置；用于在该参考和测试光束的所述副本之间产生不同的相对相位移动的装置；用于将该参考和测试光束的所述副本结合以产生干涉图的装置；以及用于检测和空间采样所述干涉图的装置。