[发明专利]永磁场直拉硅单晶的工艺及附属设备无效
申请号: | 200910176611.0 | 申请日: | 2009-09-24 |
公开(公告)号: | CN101906658A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 徐岳生;王海云;刘彩池;顾励生;李幼斌;王继炎;郎益谦 | 申请(专利权)人: | 天津希力斯新能源技术研发有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B30/04;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300410 天津市天津空*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明使用钕铁硼永磁体向熔体空间引入磁场,用以抑制硅熔体热对流。同时,磁场拉晶还可以控制硅单晶的氧浓度及均匀性,改善晶体电阻率均匀性,提高非平衡少数载流子寿命,并且由于硅熔体平稳安静,便于拉晶操作,成品率可提高5%左右。 | ||
搜索关键词: | 永磁 场直拉硅单晶 工艺 附属 设备 | ||
【主权项】:
一种直拉硅单晶的工艺,其特征在于向熔体空间引入可变磁感应强度的磁场。
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