[发明专利]液晶显示器系统中的铜、铜/钼或铜/钼合金电极蚀刻液体

摘要

本发明涉及一种用于铜层、铜/钼层、或铜/钼合金层的蚀刻溶液，包括以蚀刻溶液的总重量计，12至35重量％的过氧化氢、0.5至5重量％的硫酸盐、0.5至5重量％的磷酸盐、以及0.0001至0.5重量％的氟离子、0.1至5重量％的第一水溶性环胺、0.1至5重量％的螯合剂、0.1至5重量％的第二水溶性环胺、0.1至5重量％的二醇、以及去离子水，使全部该蚀刻溶液的总重量为100重量％。本发明涉及铜层、铜/钼层、或铜/钼合金层的蚀刻溶液，用于装配液晶显示器装置的薄膜晶体管(TFT)的闸极电极、源极电极、或汲极电极的蚀刻制程中，用于金属线的蚀刻制程。

主权项

1.一种用于铜层、铜/钼层、或铜/钼合金层的蚀刻溶液，包含过氧化氢、硫酸盐、磷酸盐、提供氟离子的氟化物、螫合剂、第一水溶性环胺、第二水溶性环胺、二醇化合物、以及去离子水。