[发明专利]一种多晶硅生产装置及工艺有效
| 申请号： | 200910178571.3 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102030329A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 周强民 | 申请（专利权）人： | 重庆大全新能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 404000 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅生产装置，包括三氯氢硅合成炉、三氯氢硅还原炉、四氯化硅氢化炉、三氯氢硅合成尾气回收装置和三氯氢硅还原尾气回收装置，所述四氯化硅氢化炉的尾气排出口与所述三氯氢硅合成炉的进料口连接，三氯氢硅还原尾气回收装置的进气口与三氯氢硅还原炉的出气口连接。本发明将四氯化硅氢化炉的尾气排出口与三氯氢硅合成炉的进料口连接，使四氯化硅氢化反应产生的尾气直接进入三氯氢硅合成炉，使得三氯氢硅的生成率高，多晶硅产品纯度较高，避免排出大量的杂质氯硅烷，节省了原材料，并省去了膜压机、液氯气化、氯化氢合成装置，整个生产工艺流程为四氯化硅氢化与三氯氢硅还原形成的物料闭环循环，没有废料外排，有利于环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 装置 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产装置，包括三氯氢硅合成炉、三氯氢硅还原炉、四氯化硅氢化炉、三氯氢硅合成尾气回收装置和三氯氢硅还原尾气回收装置，其特征在于：所述四氯化硅氢化炉的尾气排出口与所述三氯氢硅合成炉的进料口连接，三氯氢硅还原尾气回收装置的进气口与三氯氢硅还原炉的出气口连接。
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