[发明专利]一种柔性薄膜晶体管及其制备方法无效
| 申请号： | 200910183770.3 | 申请日： | 2009-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN101989618A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;张粲 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种柔性薄膜晶体管及其制备方法。涉及薄膜晶体管，尤其涉及柔性薄膜晶体管的基片。现有技术采用的薄玻璃、塑料、金属等基片在柔韧性、水氧阻隔性能或表面平整度等方面存在缺陷，本发明提供一种柔韧性好、表面平整度高并具有良好的水氧阻隔能力的新型基片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性薄膜晶体管，包括：基片、绝缘层、栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其特征在于，所述基片为电铸形成的金属箔片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;北京维信诺科技有限公司，未经清华大学;北京维信诺科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910183770.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
