[发明专利]硅片的脱胶预清洗工艺无效
| 申请号： | 200910184978.7 | 申请日： | 2009-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101693240A | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;C11D1/68;C11D7/26 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人： | 黄春松 |
| 地址： | 215618 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可防止硅片破裂、使得硅片表面不易干燥，极大程度地减少污水的排放，并能降低加工成本的硅片脱胶预清洗工艺。其步骤为：将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中，加热至70～90℃，并配以每升硅棒切割液5～8瓦功率密度的超声波，经过3～5分钟时间清洗，脱去硅片上的AB胶。本发明采用硅棒切割液配以一定功率密度的超声波使硅片脱胶，这样既可确保不会产生碎片，保证了硅片的表面质量，又彻底脱除硅片上的AB胶，并且硅片表面不易干燥，从而有利于后续的清洗和制绒。此外，硅棒切割液可以回收，使得本发明所述的脱胶工艺，不但环保，而且还大大降低了处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 脱胶 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
硅片的脱胶预清洗工艺，其步骤为：将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中，加热至70～90℃，并配以每升硅棒切割液5～8瓦功率密度的超声波，经过3～5分钟清洗，脱去硅片上的AB胶。
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