[发明专利]一种双相纳米多层氮化铬铝涂层及其沉积方法无效
| 申请号： | 200910186801.0 | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN101717914A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李明升;张迎;张淑娟;范永中 | 申请（专利权）人： | 江西科技师范学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/32;B32B9/00 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 330013 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双相纳米多层氮化铬铝涂层及其沉积方法，该涂层应用于不锈钢、高速钢、硬质合金等材料的耐磨和防腐蚀，属于金属陶瓷、机械加工及金属腐蚀与防护领域。该发明涂层设计方案如下：涂层由B1NaCl结构的Cr1-xAlxN及B4ZnS结构的Cr1-yAlyN交替沉积在基体上形成，对B1NaCl相Cr1-xAlxN，0.1＜x＜0.75，对B4ZnS相Cr1-yAlyN，0.75＜y＜1。单层厚度为0.5-50纳米，涂层总厚度为0.5-30微米。本发明的优点：通过双相纳米多层氮化铬铝涂层技术可以使得涂层的硬度达到40-76Gpa。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 多层 氮化 涂层 及其 沉积 方法 | ||
【主权项】：
一种双相纳米多层氮化铬铝涂层，其特征在于：由B1NaCl结构的Cr1-xAlxN及B4ZnS结构的Cr1-yAlyN交替沉积在基体上形成，单层厚度为0.5-50纳米，涂层总厚度为0.5-30微米。
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