[发明专利]射频屏蔽测试座以及采用该射频屏蔽测试座的测试机台

摘要

本发明适用于半导体自动化测试技术领域，提供了一种射频屏蔽测试座以及采用该射频屏蔽测试座的测试机台，本发明提供的射频屏蔽测试座采用可阻隔射频的材质形成一测试空间，待测物在该测试空间进行测试时，限制测试所产生的射频电磁场渗透至外部空间，且将测试时产生的射频电磁导入接地点；本发明提供的测试机台具有多组射频屏蔽测试座，通过进料区的载盘提供未经测试的待测物，拾取臂及输送装置将待测物送至待测位置，测试手臂将待测物置于射频屏蔽测试座，测试完毕拾取臂及输送装置将待测物依据测试结果于出料区分类。

主权项

一种射频屏蔽测试座，所述射频屏蔽测试座在测试待测物时，限制测试所产生的射频电磁渗透至外部空间，其特征在于，所述的射频屏蔽测试座包括：一个支撑板；一设置在所述支撑板上的测试板，所述测试板上方设有一个供待测物插置的测试座体；一个用以阻隔射频、在所述支撑板上形成测试空间的上罩体，所述上罩体上方开设有一可供待测物进出的开口；以及一组用于将待测物压置于所述测试座体的测试手臂，所述测试手臂具有在待测物压置于所述测试座体时将所述开口封闭的抵压部。