[发明专利]平动式光栅光调制器、其制造方法及其阵列无效
| 申请号： | 200910190977.3 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101666910A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 张智海;王伟;莫祥霞;郭媛君;黄庆探 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400044重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列；所述平动式光栅光调制器包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方，所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成，梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上，梁体的另一端与光栅固定连接，在光栅下方的绝缘层上设置有下电极，所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构；本发明的平动式光栅光调制器，弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构，能增加梁体长度，减小等效梁的弹性系数，使得光栅相对增厚而刚性相对增强，从而降低可动光栅下拉弯度，保证光栅面平坦，使光栅光调制器的开关调制效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 平动 光栅 调制器 制造 方法 及其 阵列 | ||
【主权项】：
1.平动式光栅光调制器，其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方，所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成，梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上，梁体的另一端与光栅固定连接，在光栅下方的绝缘层上设置有下电极，所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构。
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