[发明专利]全自动化多晶槽式酸处理设备

摘要

本发明公开一种全自动化多晶槽式酸处理设备，包括处理槽以及处理液循环用的储存罐，所述处理槽包含内槽与外槽，其中内槽下部设有液体的注入口、循环口和排液口，内槽顶面四周形成溢流以及内槽四壁侧面开一定数量的孔，从孔中连续排出药液并能达到循环。本发明处理设备从槽的下部到槽的顶部形成四面溢流，液体状态向上形成层流化，设置在内槽侧面的整流板使处理槽上部的断面积大于下部断面积以此来减少液体的滞流，使之形成对流的方式，可以确保被处理物的表面温度和浓度均匀，以及提高刻蚀后的表面精度。

主权项

1.一种全自动化多晶槽式酸处理设备，包括处理槽以及处理液循环用的储存罐，其特征在于，所述处理槽包含内槽与外槽，其中内槽下部设有液体的注入口、循环口和排液口，内槽顶面四周形成溢流以及内槽四壁侧面开一定数量的孔，从孔中连续排出药液到外槽并与储存罐相配合达到循环的目的。