[发明专利]光阻监控方法及客户端无效
| 申请号： | 200910194958.8 | 申请日： | 2009-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102005072A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 金海波;王琳 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G07C11/00 | 分类号： | G07C11/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王一斌;王琦 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了光阻监控方法及客户端。方法包括：为进入实验室的新光阻分配唯一标识，客户端记录以该光阻标识为索引的光阻信息，根据该光阻信息对光阻进行监控。具体地，客户端根据记录的光阻信息中的退冰期间、保存期限、保质期限、安全存量、光阻的状态对光阻的退冰过程、保存期限、保质期限、安全存量进行监控，并完成光阻的更换。本发明实现了对光阻的准确监控。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 方法 客户端 | ||
【主权项】：
一种光阻监控方法，该方法包括：为进入实验室的新光阻分配唯一标识，客户端记录以该光阻标识为索引的光阻信息，根据该光阻信息对光阻进行监控。
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