[发明专利]一种微机电装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200910196113.2 | 申请日： | 2009-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102963858A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 张启华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种微机电装置，包括基座，转轴和齿轮，所述转轴与所述齿轮连接为一体，所述齿轮和所述转轴安装于所述基座内进行转动且可与所述基座分离。本发明提供的微机电装置及其制造方法通过集成电路制造工艺制造出硅基微型齿轮，其齿轮的最小尺寸可达到1立方微米，该齿轮可于基座的转轴槽内自由转动，也可与基座脱离，可在微机电系统中广泛应用。同时，本发明的微机电装置还可通过转动产生电流，将齿轮的机械运动转换为电信号，从而使本发明的微机电装置还可成为一种信号发生器或波形发生器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，包括基座，转轴和齿轮，所述转轴与所述齿轮连接为一体，所述齿轮和所述转轴安装于所述基座内进行转动且可与所述基座分离。
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