[发明专利]一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板无效
| 申请号： | 200910196353.2 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101760783A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 黄小卫 | 申请（专利权）人： | 上海元亮光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B11/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，涉及晶体生长热场结构，主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板，其特征在于：所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。有益效果是将坩埚盖板内侧面制成非等厚，改变了热辐射、热对流和热传导，使得固液界面的温度分布到达工艺的要求，提高了晶体的尺寸和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 调节 界面 温度梯度 坩埚 盖板 | ||
【主权项】：
一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板，其特征在于：所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。
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