[发明专利]一种硅上液晶及其铝反射镜的制造方法无效
| 申请号： | 200910197249.5 | 申请日： | 2009-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102043294A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陆恩莲;俞昌;杨春晓;张雅礼 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于硅上液晶的铝反射镜的制造方法，其中，包括如下步骤：在衬底上形成铝金属层；图案化所述铝金属层；在所述铝金属层上形成绝缘层；去除位于所述铝金属层上方的部分所述绝缘层；对铝金属层表面进行化学机械研磨。本发明还提供了一种硅上液晶，其结构包括由上述方法制造的铝反射镜。本发明可以提高用于硅上液晶的铝反射镜的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶 及其 反射 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于硅上液晶的铝反射镜的制造方法，其中，包括如下步骤：a.在衬底上形成铝金属层；b.图案化所述铝金属层；c.在所述铝金属层上形成绝缘层；d.去除位于所述铝金属层上方的部分所述绝缘层；e.对铝金属层表面进行化学机械研磨。
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