[发明专利]金属蒸镀坩埚无效

专利信息
申请号: 200910199178.2 申请日: 2009-11-20
公开(公告)号: CN102071398A 公开(公告)日: 2011-05-25
发明(设计)人: 李诺;刘畅 申请(专利权)人: 上海广电电子股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 吴宝根
地址: 201204 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种金属蒸镀用坩埚,包括一端开口的坩埚容器,其特点是:坩埚容器的开口边上设有一个环状水平平台,环状水平平台上开有至少一条环状限流凹槽。环状限流凹槽与坩埚容器和环状水平平台同心,且位于水平平台外沿,环状水平平台的宽度至少为加热丝横截面宽度的三倍。环状限流凹槽的深度为环状水平平台厚度的一半,其宽度小于加热丝的直径。本发明具有一个相对宽阔的水平平台,其宽度大于加热丝横截面直径的三倍或三倍以上,因而溢出坩埚本体的金属熔液,在横向漫过水平平台之后,就不会与隐蔽在水平平台下方的加热丝接触,且减少了溢出金属熔液再次受热蒸发导致加热不稳定的情况。
搜索关键词: 金属 坩埚
【主权项】:
一种金属蒸镀用坩埚,包括一端开口的坩埚容器,其特征在于:所述坩埚容器的开口边上设有一个环状水平平台,环状水平平台上开有至少一条环状限流凹槽。
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