[发明专利]封装基板的线路架桥制造方法有效
申请号: | 200910200357.3 | 申请日: | 2009-12-11 |
公开(公告)号: | CN102097331A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 李俊哲;方仁广;罗光淋;高洪涛;任金虎;孙骐;林聪志 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体(上海)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种封装基板的线路架桥制造方法,其包含:提供封装基板;在封装基板上制做第一线路层,其具有第一电极部及接点;在第一线路层上设置图案化的防焊层,以形成开口裸露接点;在图案化的防焊层上制做第二线路层,其具有导电柱及第二电极部,导电柱通过开口电性连接所述接点;以及,去除图案化的防焊层,其中第二电极部的两端受导电柱的支持,及第二电极部悬空位于第一电极部的上方,以构成立体的线路架桥结构。 | ||
搜索关键词: | 封装 线路 架桥 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种封装基板的线路架桥制造方法,其特征在于:所述制造方法包含:提供一封装基板;在所述封装基板的一第一表面制做一第一线路层,其具有一第一电极部及二接点;在所述第一线路层上设置一图案化的防焊层,以形成二开口裸露所述接点;在所述图案化的防焊层上制做一第二线路层,其具有二导电柱及一第二电极部,所述导电柱通过所述开口电性连接所述接点;及去除所述图案化的防焊层,其中所述第二电极部的两端受所述导电柱的支持,及所述第二电极部悬空位于所述第一电极部的上方,以构成一线路架桥结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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