[发明专利]机械扫描工件的装置有效
| 申请号： | 200910200781.8 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102110569A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械扫描工件的装置，其包括：一真空腔，该真空腔一侧的侧壁上设有一长条形开口；一密封板，该密封板通过一滑动密封机构与该真空腔的设有该开口的侧壁外表面可相对滑动地密封连接，并且该密封板在相对于该真空腔侧壁滑动的过程中保持该开口与大气环境的真空隔离；一滑动杆，该滑动杆横向轴设于该密封板上并穿过该开口、且一端位于该真空腔中而另一端位于大气环境中，该滑动杆通过一空气轴承与该密封板密封连接；一马达单元，用于驱动该滑动杆的运动；一工件支架，固设于该滑动杆的位于该真空腔中的一端，用于支撑工件。本发明能够执行各种工件扫描动作以及对工件位置和角度的控制，且结构简单、运行可靠、制作成本低、便于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 机械扫描 工件 装置 | ||
【主权项】：
一种机械扫描工件的装置，其特征在于，其包括：一真空腔，该真空腔一侧的侧壁上设有一长条形开口；一密封板，该密封板通过一滑动密封机构与该真空腔的设有该开口的侧壁外表面可相对滑动地密封连接，并且该密封板在相对于该真空腔侧壁滑动的过程中保持该开口与大气环境的真空隔离；一滑动杆，该滑动杆横向轴设于该密封板上并穿过该开口、且一端位于该真空腔中而另一端位于大气环境中，该滑动杆通过一空气轴承与该密封板密封连接；一马达单元，用于驱动该滑动杆的运动；一工件支架，固设于该滑动杆的位于该真空腔中的一端，用于支撑工件。
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