[发明专利]一种旋转台有效
| 申请号： | 200910200944.2 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102109765A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周清华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种旋转台，所述旋转台包括工作台、基板、垂向支撑机构、旋转中心定位机构及驱动机构。所述垂向支撑机构将工作台支撑在基板上，其高度可调。所述旋转中心定位机构使工作台沿竖直方向做旋转运动，并确定旋转中心。所述驱动机构把直线电机的直线运动转化成旋转运动。本发明提供的旋转台中间环节少，响应速度快，定位精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 | ||
【主权项】：
一种旋转台，其特征在于，包括基板、垂向支撑机构、通过垂向支撑机构支撑在所述基板上的工作台、旋转中心定位机构及驱动机构，所述旋转中心定位机构连接所述基板和工作台，并使工作台绕所述旋转中心定位机构的中心相对基板做旋转运动，所述驱动机构包括直线电机，并将直线电机的直线运动转化为工作台的旋转运动。
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