[发明专利]缺陷修复装置和缺陷修复方法无效
| 申请号： | 200910204215.4 | 申请日： | 2009-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN101726951A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 筒井亚希子 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;B23K26/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李渤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及缺陷修复装置和缺陷修复方法。该缺陷修复装置包括缺陷检测单元、数据库、缺陷修复单元和控制单元。缺陷检测单元检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于重复图案中的缺陷的位置信息和关于缺陷的特征信息。多个缺陷修复技术被登记在数据库中。缺陷修复单元利用指定的缺陷修复技术来修复多层基板的缺陷。控制单元读取针对缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且利用该缺陷修复技术来控制修复缺陷的缺陷修复单元。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷修复装置，包括：缺陷检测单元，用于检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于所述重复图案中的缺陷的位置信息以及关于所述缺陷的特征信息；数据库，多个缺陷修复技术被登记在该数据库中；缺陷修复单元，用于利用指定的缺陷修复技术来修复所述多层基板的缺陷；控制单元，用于基于所述多层基板的层结构从所述数据库中读取针对所述缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且控制利用该缺陷修复技术来修复所述缺陷的所述缺陷修复单元。
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