[发明专利]表面检查装置有效
| 申请号： | 200910204673.8 | 申请日： | 2009-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101726499A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 浅田康德;宫里宪夫;山崎英治 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 郭放 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面检查装置，包括：照射单元(2)，其具有分别发出具有不同波长范围的多个照明光束的多个光源(12、13、14)；以及成像单元(3)，其将由检查表面(Wa)对从照射单元(2)的光源(12、13、14)发出的光束的反射所得到的反射光分光成具有不同波长范围的多个光分量，并且捕获与反射光分量对应的图像。多个光源(12、13、14)在保持与检查表面对置的状态的同时按给定顺序彼此相邻地放置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种表面检查装置(1)，其特征在于包括：照射单元(2)，其具有分别发出具有不同波长范围的多个照明光束的多个光源(12、13、14)，并且在将所述多个光源以彼此相邻的方式放置并沿着作为所要检查的物体的表面的检查表面(Wa)按给定顺序排列的状态下，用所述多个照明光束对所述检查表面进行照射；成像单元(3)，其对所述照明光束被所述检查表面反射时的反射光进行成像，以获得与相应的波长范围对应的多个图像数据项；以及控制单元(4)，其基于由所述成像单元所获得的与相应的波长范围对应的所述多个图像数据项，对所述检查表面上的检测对象(Wb)进行检测。
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