[发明专利]曝光装置及元件制造方法无效

专利信息
申请号: 200910207128.4 申请日: 2005-06-08
公开(公告)号: CN101685269A 公开(公告)日: 2010-03-31
发明(设计)人: 长坂博之;恩田稔 申请(专利权)人: 尼康股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H01L21/027
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 赵燕力
地址: 日本东京都千*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 曝光装置(EX)具有投影光学系统(PL)。投影光学系统(PL),具有最接近其像面的第1光学元件(LS1)、及次于第1光学元件(LS1)接近像面的第2光学元件(LS2)。第1光学元件(LS1),具有:配置成与基板(P)表面对向的下面(T1)、及配置成与第2光学元件(LS2)对向的上面(T2)。以第2液体(LQ2)充满于第1光学元件(LS1)的上面(T2)与第2光学元件(LS2)之间,以在上面(T2)中、在包含曝光用光(EL)通过的区域(AR’)的区域形成液浸区域,通过第1光学元件(LS1)的下面(T1)侧的第1液体(LQ1)、与上面(T2)侧的第2液体(LQ2)将曝光用光(EL)照射于基板(P)上,由此使基板(P)曝光。如此能防止因光学元件污染使曝光精度劣化,并抑制液浸区域的巨大化。
搜索关键词: 曝光 装置 元件 制造 方法
【主权项】:
1.一种曝光装置,是通过第1液体将曝光用光照射于基板上以使基板曝光,其特征在于,具有:投影光学系统,具有多个元件,其包含最接近像面的第1元件、以及次于该第1元件接近该像面的第2元件;第1液浸机构,是将该第1液体供应至该第1元件与该基板之间;第2液浸机构,是将第2液体供应至该第1元件与该第2元件之间;该第1元件,具有配置成与该基板表面对向、使曝光用光通过的第1面;以及配置成与该第2元件对向、使曝光用光通过的第2面;该第1液浸机构,具有使该曝光用光通过的开口、以及于该开口周围配置成与该基板表面对向的平坦液体接触面;该第1液浸机构,具有用以将该第1液体供应至该第1元件与该基板之间的空间的供应口、以及从该基板上方回收该第1液体的回收口;该第1液浸机构的该回收口配置成包围该液体接触面;于该第1液浸机构的该回收口配置多孔构件;该第2液浸机构,具有供应该第2液体的供应口与回收该第2液体的回收口;使曝光用光通过在该第1元件的第1面与该基板间的该第1液体、以及在该第1元件的第2面与该第2元件间的该第2液体而照射于该基板上,以使该基板曝光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于尼康股份有限公司,未经尼康股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200910207128.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top