[发明专利]用于提供垂直磁记录磁头的方法和系统有效
| 申请号： | 200910207638.1 | 申请日： | 2009-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101727915A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张津秋;孙海;袁宏平;陈松原;李冠雄 | 申请（专利权）人： | 西部数据(弗里蒙特)公司 |
| 主分类号： | G11B5/127 | 分类号： | G11B5/127;G11B5/31 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种在包括中间层的磁记录换能器中提供一PMR磁极的方法和系统。该方法和系统包括在所述中间层上提供一掩模。该掩模包括具有至少一个侧边的线路。在所述掩模上提供一硬掩模层。该硬掩模层的至少一部分位于所述线路的(多个)侧边之上。去除所述线路的(多个)侧边上的至少部分硬掩模层。由此，所述线路的至少一部分被暴露出来。然后去除该线路，在对应于该线路在硬掩模中提供一开孔。该方法还包括在所述开孔下面的所述中间层中形成沟槽。该沟槽顶部宽于底部。该方法进一步包括提供PMR磁极，该磁极的至少一部分位于所述沟槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提供 垂直 记录 磁头 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种在包括中间层的磁记录换能器中提供垂直磁记录磁极即PMR磁极的方法，该方法包括：在所述中间层上提供一掩模，所述掩模包括具有至少一个侧边的线路；在所述掩模上提供一硬掩模层，所述硬掩模层的一部分位于所述至少一个侧边上；去除位于所述至少一个侧边上的所述硬掩模层的所述部分的至少一部分，所述线路的至少一部分被暴露出来；去除所述线路，从而在对应于所述线路的所述硬掩模层中提供一开孔；在所述开孔下面的所述中间层中形成一沟槽，所述沟槽具有一个底部和一个宽于所述底部的顶部；以及提供一PMR磁极，所述PMR磁极的至少一部分位于所述沟槽中。
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